Kontrol Debu untuk Semikonduktor

Perawatan Debu Penggilingan Wafer

Pengumpul debu bervolume besar yang dikembangkan sesuai dengan persyaratan emisi lingkungan terutama digunakan pada peralatan pemoles wafer di industri semikonduktor untuk menangani sejumlah besar bubuk silikon yang mudah terbakar dan meledak yang dihasilkan selama proses penggilingan wafer.

Solusi

Peralatan VW-150wafer Fab terutama menggabungkan penghilangan debu siklon dengan penghilangan debu semprot, sehingga bubuk silikon sepenuhnya ditangkap oleh kabut air yang disemprotkan dari nosel bertekanan tinggi untuk membentuk campuran debu-air, yang disimpan dalam ember pengumpul karena gravitasi dan dibuang ke luar melalui lubang luapan untuk menyelesaikan penghilangan debu.